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      關于探針臺的那些事

      分類:
      行業新聞
      來源:
      2020/08/23 13:09
      瀏覽量
      【摘要】:
      探針臺用途:  手動探針臺的主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規格芯片,并提供多個可調測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途。?探針臺的使用方式:  1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關,使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上?! ?.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤
      探針臺用途:
        手動探針臺的主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規格芯片,并提供多個可調測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。適用于對芯片進行科研分析,抽查測試等用途。
       
      探針臺的使用方式:
        1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關,使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
        2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
        3.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。
        4.待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋鈕將探針前進少許,再使用Z軸旋鈕進行下針,最后則使用X軸旋鈕左右滑動,觀察是否有少許劃痕,證明是否已經接觸。
        5.確保針尖和被測點接觸良好后,則可以通過連接的測試設備開始測試。
       
      常見故障的排除
        當您使用本儀器時,可能會碰到一些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。
        癥狀 可能原因 解決方法
        移動樣品后畫面變模糊 顯微鏡不垂直 調垂直顯微鏡
        樣品臺不水平 調水平樣品臺
        樣品不平
        顯微鏡視場亮度不足,邊緣切割或看不到像 轉換器不在定位位置上 把轉換器轉到定位位置上
        管鏡轉盤不在定位位置上 把管鏡轉盤轉到定位位置上
        照明的亮度不足 調節光源亮度或者把孔徑光欄孔調大
        沒有裝目鏡 裝上目鏡
        沒有裝物鏡 裝上物鏡
        顯微鏡像質變差 目鏡臟物鏡臟管鏡臟 對目鏡,物鏡,管鏡臟的地方進行清潔
        孔徑光欄關的太大或者太小 調節孔徑光欄
        沒有調好焦 調節調焦手輪
        樣本上蓋有蓋玻片等介質 移開蓋玻片等介質
        圖像一邊清晰,一邊模糊 樣本傾斜放置 放平樣本,或者調節樣品臺水平
        物鏡沒有旋緊 旋緊物鏡
        眼睛容易疲勞 雙目頭的瞳距和操作者不匹配 調節雙目頭的瞳距
        目鏡視度調節不正確 調節目鏡視度
        照明亮度不合適 調節光源亮度或者孔徑光欄孔
       
      維護和保養
        1. 避免碰撞:在安裝,操作CS探針臺時應避免碰撞,機體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機器發生故障或異常異音。
        2.儀器的運輸:儀器運輸時,請先拔掉電源線插頭。
        儀器運輸應使用專門的包裝箱,避免碰到探針臺的任何運動部件。
        3.儀器的存放
        使用完后需要注意保持清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵將機械精密部件,光學部件,電學接觸面污染,導致儀器精度降低。
        探針臺機體清潔時,避免直接潑水清理,以無塵布輕輕擦拭并吹干即可。不可用硬物接觸機器,以免發生故障或危險。
        探針臺光學部件清潔時,可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時易燃物,注意使用安全。
        停電或長期不用、外出旅行時,請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命。
        操作人員必須嚴格按要**作,以保證數據的準確和儀器的正常使用。
        4.工作環境
        探針臺應放在穩定可靠的臺面上,最好是具有防震裝置的工作臺上,避免在高溫,潮濕激烈震動,陽光直接照射和灰塵較多的環境下使用。
        使用最佳溫度范圍為5℃~40℃,最佳濕度是40%到85%,空氣中之濕度若低于30%以下,可靠濕度控制器予以控制,使維持50%~60%之范圍。使用時門窗盡可能關閉,使室內達到除濕效果。
        使用電源:220±10%,50~60Hz
        儀準科技擅長領域手動探針臺Probe station,激光開封機Laser decap,光發射顯微鏡EMMI,IV自動曲線量測儀,紅外顯微鏡等半導體失效分析設備
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      關于探針臺的那些事

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